Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/1409
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题名: Plasma passivation of siloxane-based low-k polymeric films: a comparison of single and mixed (O2/N2/H2) gas sources
作者: S. T. Chen;G. S. Chen;T. J. Yang
日期: 2003
上传时间: 2009-02-03T07:02:40Z
關聯: J. Electrochem. Soc., 150, F194?F199. (SCI)
显示于类别:[電子工程系] 期刊論文

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