Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/1534

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Title:	PZT壓電膜製程及結構分析
Authors:	戴嘉褘;施易鋒;陳煒仁
Contributors:	修平技術學院電機工程系
Keywords:	PZT;溶膠-凝膠法(sol-gel);Spray coating;Spin coating
Date:	2008/12/16
Issue Date:	2009-03-16T06:31:02Z
Publisher:	修平技術學院
Abstract:	本研究主要使用溶膠-凝膠法(sol-gel)來製作鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜，而其製作過程使用噴霧塗佈(Spray coating)與旋轉塗佈(Spin coating)兩種，之後再進行熱處理、極化、上電極等步驟之後，再將所得之薄膜試片以X-ray繞射分析儀(XRD)方法來進行結構與特性分析。我們使用的基材有鐵片、鎳片、鋁片及銅片。Spray coating的結果發現，薄膜之中的孔隙較大，所以結構較為鬆散，薄膜厚度較厚。而Spin coating的結果，薄膜之中的孔隙較小，所以結構較為緊密，薄膜厚度較薄。經由XRD量測發現，在結晶結構方面，在Al為下電極時結晶方向以PZT（110）為最強，所以往最密堆疊方向PZT（110）開始堆疊。而在Ni方面亦與Al相同，在PZT（110）有出現較強的峰值，所以也有明顯的PZT（110）結晶相。
Appears in Collections:	[Department of Electrical Engineering & Graduate Institute] Monograph

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