Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/1924

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HUSTIR > College of Engineering > Department of Mechanical Engineering & Graduate Institute of Precision Machinery and Manufacturing Technology > Monograph > Item 310993100/1924

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Title:	極化電壓對 PZT 壓電膜特性的影響
Authors:	王凱群;游俊豪;陳聖恩
Contributors:	電機工程系
Date:	2009-12-29
Issue Date:	2011-01-24T06:07:38Z
Abstract:	本專題以溶膠-凝膠法技術製備(PZT)膜，而其製作過程使用噴霧塗佈(Spray coating)與旋轉塗佈(Spincoating)兩種，之後再進行熱處理、極化、上電極(銀膠)等步驟之後，再將所得之薄膜試片以Xray繞射分析儀(XRD)方法來進行結構與特性分析。3 l-xx)O, TiPb(Zr本次使用的基材為不鏽鋼、鋁片兩種，塗佈熱處理燒結完後，將基板以高溫風槍加熱10min，使表面結晶體重新排列，再將以不同電壓極化。極化電壓設定為20kV、25kV、30kV度進行電暈極化。實驗後在Spray coating 發現，薄膜之中的孔隙較大，所以結構較為鬆散，但薄膜厚度較厚，然而Spin coating的結果，薄膜之中的孔隙較小，所以結構較為緊密，薄膜厚度較薄。實驗後也發現基材使用電暈極化設備，經過實驗比較未極化與極化極化比較顯示出經過極化的PZT膜晶格強度較未極化強度強；另外也分別做了使用不同極化電壓做基材電暈觀察PZT膜，結果顯示出極化電壓越強所產生的晶格強度越強，介電損失越小
Appears in Collections:	[Department of Mechanical Engineering & Graduate Institute of Precision Machinery and Manufacturing Technology] Monograph

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