Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/2370

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Title:	以低溫水熱電化學法製備鈦酸鍶之研究
Authors:	李士暐李建鋒黃證文揭由志
Contributors:	化學工程系
Keywords:	鈦酸鍶氮化鈦低溫水熱－電化學
Date:	2010-12-15
Issue Date:	2011-08-25T01:15:23Z
Abstract:	本研究主要採用鍍氮化鈦膜矽晶片(TiN/Si)來當基材，利用低溫水熱法-電化學法作用之方式來成長鈦酸鍶膜，反應溶液為0.5 M醋酸鍶(Sr(CH3COO)2)及2 M氫氧化鈉(NaOH)之溶液，探討在控制溶液溫度、電壓及反應時間之條件對鈦酸鍶(SrTiO3)膜成長之影響。研究是以施加外電壓之低溫水熱-電化學法方式，將TiN/Si 基材置於0.5M Sr(CH3COO)2及2 M NaOH 之電解液中，以80˚C與90˚C之溫度以及定電壓1.5V、2V反應10分鐘與30分鐘。反應過程中以電腦即時監控及記錄電壓及電流的變化。以及觀察反應前後試片外觀之比較，接著以X光繞射儀(XRD)進行結晶相之分析鑑定，並以場發射電子顯微鏡(FE-SEM)觀察反應前後試片表面及橫截面之微結構。結果顯示TiN/Si 在80C以定電壓1.5 V反應30分鐘跟2V反應10分鐘即有明顯鈦酸鍶膜生成。在80C以定電壓2 V反應30分鐘可將TiN/Si 基材完全反應成SrTiO3膜，所得膜厚達1.8 m。
Appears in Collections:	[Department of Energy and Materials Technology] Monograph

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