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題名: 利用溶膠-凝膠法製備鐵酸鉍鐵電薄膜摻雜鐠之鐵電特性研究
作者: 林泓彥
羅鳴謙
陳冠堯
賴信呈
貢獻者: 電子工程系
關鍵詞: 溶膠-凝膠法
鐵酸鉍
鐵電薄膜
漏電流
日期: 2011-12-28
上傳時間: 2012-07-10T02:07:48Z
摘要: 本研究以溶膠凝膠法製備鐵酸鉍(BiFeO3)鐵電薄膜摻雜鐠(Pr)元素，做為非

揮發性鐵電記憶體之應用；以旋轉塗佈機將薄膜沉積於Pt/Ti/SiO2/Si基板上，分

別在450 oC溫度下，利用X光繞射儀(XRD)、電子式掃描顯微鏡(SEM)、及阻抗

分析儀(HP4284)來探討鐠(Pr)濃度摻雜(x值分別為0、0.02、0.04、0.06、0.08)

對薄膜成長的影響。且藉由鐠(Pr)的濃度改變對晶體結構、晶粒大小、漏電流特

性、介電性及鐵電性之影響。

根據實驗顯示，以Pr來說，在x=0.08時鐵電特性方面，有最佳的鐵電特性

殘留極化值：2Pr=24.56μC/cm2、矯頑電場： 2Ec＝92.2kV/cm 、 漏電流在x=0.08

時漏電流密度3.26E-06J(A/cm2)，由此可知Pr摻雜的多寡可有效降低漏電流與

殘留極化值的變化。
顯示於類別:[電子工程系] 學生專題

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