Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3312
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题名: AZO透明導電膜
作者: 林宏叡
王敬昕
贡献者: 電子工程系
关键词: AZO透明導電膜
日期: 2013-01-04
上传时间: 2013-07-23T06:29:31Z
摘要: 隨著光電產業的發展，不斷有新材料被發展出來，透明導電膜即是近年來在LCD產業下的這門材料，而所謂的透明導電膜即是一種吸收紫外光、可見光穿透與反射紅外線的材料，傳統上多使用ITO，但因為其成本高昂，所以一直以來有新材料想取代它。AZO便是其中一個例子，在適當的條件下可以製作出與ITO相媲美之特性而且價格低，非常具有競爭優勢。
我們這次實驗主要是以直流(DC)濺鍍法製備傪入(AZO)鋁氧化鋅透明導電膜，利用不同的製作過程變因，例如工作壓力與基板溫度的變化，比較DC之AZO薄膜特性，來獲取最佳的製作參數。
發現當以DC沉積之薄膜在可見光(380nm~780nm)範圍內有80%以上的穿透率，且其折射率有隨著基板溫度的升高而且有遞減的現象發生，而晶粒大小、載子濃度與載子遷移率，則隨著基板溫度的升高而且有上升的現象。
显示于类别:[電子工程系] 學生專題

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