Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3316
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Title: 溶膠凝膠法製作氧化鋅薄膜摻雜鑭對光電特性的影響
Authors: 黃智煒;陳佳政
Contributors: 電子工程系
Keywords: 氧化鋅摻鑭
Date: 2013-01-16
Issue Date: 2013-07-23T06:33:56Z
Abstract: 本文研究利用溶膠凝膠法結合旋轉塗佈技術,在康寧玻璃基板上製作的摻雜鑭-氧化鋅(Zn1-xLaxO)薄膜,以分別探討在不同鑭摻雜濃度的比例下對氧化鋅薄膜特性的影響。
本實驗以溶膠-凝膠法製作溶液,改變其所摻雜的鑭(La)元素的濃度,藉由旋轉塗佈法將溶液均勻的沉積於康寧基板上,將製備好的薄膜經由X-ray繞射結果分析其晶格結構及晶粒大小,結果顯示我們所製備的Zn1-xLaxO薄膜結構為c軸結晶方向的纖鋅礦結構。
將所有製備好的樣品經由螢光光譜測量儀,在紫外光區段皆可觀察到一個非常明顯的放射峰,且紫外光區段的放射峰也隨著摻雜濃度的增加而增強。

利用紫外光/可見光分光光譜儀(UV-VIS-NIR spectrometers)量測光穿透率,Zn1-xLaxO薄膜在可見光波長的範圍其光穿透率皆高達80%以上,再利用(αhυ)2對光子能量圖配合外插法算出其能隙隨著摻雜濃度的增加而減小,依結果顯示出摻雜濃度產生的缺陷對薄膜的能隙有一定的影響。
Appears in Collections:[Department of Electronic Engineering] Monograph

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