Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3317

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Title:	氧化鋅透明導電膜摻雜釤對光電特性的影響
Authors:	賴仲彥;楊長佳
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅摻釤
Date:	2013-01-16
Issue Date:	2013-07-23T06:35:56Z
Abstract:	主要研究旋鍍在玻璃基板的摻釤氧化鋅(ZnSmO)薄膜，分別探討在不同燒結溫度及摻雜釤比例對氧化鋅薄膜結構及光學特性的影響。由溶膠凝膠法及快速熱處理技術，利用溶膠凝膠法的旋轉塗佈法，使溶液均勻塗布在基板上，將ZnSmO薄膜以不同的快速熱處理退火溫度來改善光學特性，薄膜由X-ray繞射結果分析其晶粒大小以及晶格結構，結果顯示為纖鋅礦結構。。紫外光光譜儀(UV-VIS-NIR spectrometers)量測光穿透率，純氧化鋅奈米結晶薄膜可見光波長範圍光穿透率可達到80%以上，利用穿透率公式換算出能隙。依研究結果顯示，跟著燒結溫度的增加可使得薄膜結構結晶顆粒較大和較為完整，可得到較佳的薄膜透光率及較大的薄膜能隙。在相同的製程條件下，薄膜的結晶顆粒大小及能隙隨著摻雜釤比例的增加而減小。這是因為隨著逐漸以離子半徑較大的釤取代鋅時，摻雜濃度越高，纖鋅礦的結構扭曲愈加明顯，所以抑制了氧化鋅晶粒的成長，造成結晶顆粒越小、可見光穿透率越低及能隙愈小的結果。
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