Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/351

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Title:	以溶膠-凝膠法成長鉭酸鋰薄膜之晶體結構及電特性之研究
Authors:	高銘政
Contributors:	修平技術學院電子工程系
Keywords:	鉭酸鋰溶膠凝膠法薄膜介電常數焦電係數
Date:	2008-03
Issue Date:	2008-08-26T03:13:49Z
Abstract:	本研究以diol-based 溶劑為基礎的溶膠-凝膠法成功地成長鉭酸鋰（LiTaO3）薄膜於Pt(111)/SiO2/Si(100) 基板上，藉由顯微結構分析、介電及焦電特性量測，探討鉭酸鋰薄膜之特性，研究發現薄膜在700 oC溫度以上之燒結後呈現多方向性成長的多晶相(polycrystalline)。電性量測方面，在量測溫度610 oC以下相對介電常數(εr )會隨溫度增加而上升，而在610 oC以上則是呈現下降的趨勢，顯示在610 oC時薄膜會發生相轉換，其介電損失(tanδ)，在溫度範圍30-770 oC時的值都低於0.006，且在溫度62℃時會有最大焦電係數(γ) 4.0×10-8 C/cm2‧K發生。結果顯示，本研究所製作之鉭酸鋰薄膜非常適合紅外線感測器之應用。
Relation:	修平學報 16, 55-62
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Journal

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