Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3992

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Title:	晶種層表面處理對氧化鋅奈米柱微結構及光電特性的影響
Authors:	張永昌
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅溶膠凝膠法磁控射頻濺鍍
Date:	2013-12
Issue Date:	2014-07-15T03:14:52Z
Abstract:	本論文研究各類不同製程方式，來探討有何方式的製作能得到最好的紫外光感測元件，結果共分為5個單元加以討論。其一是利用溶膠凝膠法在康寧基板上旋鍍10層氧化鋅薄膜，在做表面蝕刻處理，主要是探討薄膜做感光元件是否有效果，而蝕刻前後的薄膜在感光靈敏度上又有何差異。其二是利用溶膠凝膠法在重摻雜的n型矽基板上旋鍍2層晶種層，在做蝕刻10秒的處理，然後長奈米柱摻雜1%的銅於不同時間。其三是利用溶膠凝膠法在重摻雜的p型矽基板上旋鍍2層晶種層，在做蝕刻30秒的處理，然後長奈米柱摻雜1%的鋰於不同時間。其四是利用溶膠凝膠法在n型矽基板上旋鍍6層氧化鋅摻雜2%鎂的晶種層，然後長奈米柱摻雜1%的鋁於不同時間。其五是利用磁控射頻濺鍍（Rf sputter）在ITO基板上沉積不同厚度的氧化鋅（ZnO）薄膜做為晶種層，再成長奈米柱摻雜10%的鋰，主要是探討摻雜鋰之後是屬於何種半導體材料，和這樣的方式是紫外光感測元件效果的產生以及電性上的應用
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