Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/3994

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Title:	銅鋁氧塊材製作
Authors:	王俊文;呂宗憲;蕭佳峻;黃書強
Contributors:	電子工程
Keywords:	銅鋁氧粉末冶金
Date:	2012-12
Issue Date:	2014-07-15T03:29:06Z
Abstract:	銅鋁氧具有許多優秀之特性，如良好的導電性、導熱性與抗電弧沖蝕等特性，故其應用的領域廣泛，一般的靶材基本上都是用熔煉的方式製作，不過這種製作方法容易發生缺陷，如成分比例出錯、結構不均勻和孔洞的分佈不均勻。由於銅鋁氧P型靶材其電阻率高於 N 型靶材 3 至 4 倍，使得無法製作良好的 PN 接面。所以我們採用另外的一種做法，就是粉末冶金(Powder metallurgy )真空燒結(Vacuum Sintering)。由這實驗研究哪種做法的成功良率較高。研究主要嘗試利用粉末冶金方法來製作銅鋁氧 P型靶材，並探討熱均壓參數的改變對靶材之緻密度與微觀組織的影響，進而找到最適合之製程參數來製備高緻密度之銅鋁氧 P型靶材
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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