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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/4005
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| 題名: | 微型光譜儀應用在真空電漿之檢測研究 |
| 作者: | 林柏凱 施建廷 鄭湘棋 陳世錡 |
| 貢獻者: | 電子工程系 |
| 關鍵詞: | PID控制器
DAQ擷取卡
Visual Basic |
| 日期: | 2012-12
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| 上傳時間: | 2014-07-15T05:49:42Z
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| 摘要: | 以真空環境之狀態下檢測電漿在此環境下的狀態以及變化，經由電腦軟體AvaSoft輸入實驗數值給電腦，再透過光譜分析儀的檢測分析，傳送至擷取卡讀取光譜分析儀分析資料傳送自電腦處理訊息，由軟體得知光譜分析的訊號和強度，再由VB.NET自行撰寫之程式作監控與顯示，控制電漿環境變化，依不同所需得到正確電漿環境。
以本研究所發展之微型光譜監控電漿技術，氬氣製程電漿可在我們設定的MIN值到MAX值之間穩定震盪，當電漿過強超出我們設定的MAX值，透過PID控制器的調整會傳送一個指令將製程氣體閥門關閉，如低於MIN值則會把氣閥打開，使我們能達到穩定監控電漿的動作 |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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| 15微型光譜儀應用.pdf | 1395Kb | Adobe PDF | 3993 | 檢視/開啟 |
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