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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/5003
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| 題名: | 退火效應對於高敏度異質結構紫外光檢測器特性之影響 |
| 作者: | 林燕柏;潘逸庭;吳榮華;李卿任 |
| 貢獻者: | 修平科技大學電子工程系 |
| 關鍵詞: | 氧化鋅(Zinc Oxide, ZnO) |
| 日期: | 2015-12
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| 上傳時間: | 2016-05-14T08:07:45Z
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| 摘要: | "氧化鋅(Zinc Oxide, ZnO)擁有直接寬能隙約(3.436eV)的光電半體材料，
具有容易蝕刻、鋅礦資源豐富、製作成本低、無毒、熱穩定與化學穩定性
都相當良好等優點。
本專題製作的內容是探討氧化鋅薄膜在500o C、600o C、700o C 溫度下，
其退火效應對於異質結構光檢測器特性之影響。
此次研究使用溶膠凝膠法製作氧化鋅溶液，接著於p-type 的Si 基板與
玻璃上，利用旋轉塗佈法，固定旋塗6 層膜厚，再分別以高溫爐500oC、600oC、
700oC 之溫度燒結退火。" |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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