Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/520

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Title:	鐵鉑薄膜沉積在金底層上高矯頑磁力之探討
Authors:	申繼陽袁輔德
Keywords:	鐵鉑高矯頑磁力晶粒隔絕磁區結構金底層
Date:	2008-09
Issue Date:	2008-10-29T10:33:11Z
Abstract:	試片的製備為：在室溫下先沉積一層厚度為60奈米的金底層，然後在該底層上再沉積一層厚度從5奈米至100奈米的鐵鉑層；接著進行一段二十分鐘的熱處理，溫度從攝氏400至800度不等。尚未進行熱處理的雙層膜（鐵鉑層為20奈米）的結晶結構是由等向的面心立方的金和面心立方的鐵鉑非序化相所構成。當400度的熱處理完畢之後，廣泛的序化轉變完成了，且平行膜面的矯頑磁力達到7 kOe左右，當熱處理溫度提高到800度時，矯頑磁力大幅上升至28 kOe。從鐵鉑晶格常數的恒定可知，儘管經歷了劇烈的序化-非序化的相轉變，以及極高溫的熱處理，金原子仍未擴散進入鐵鉑二元相中。最大的矯頑磁力值出現在鐵鉑厚度為5奈米的試片中，其可達到33 kOe。所有的雙層膜試片均呈現磁性單相行為；伴隨矯頑磁力的提高，試片的殘餘磁化量由583 emu/cm3下降至不到400 emu/cm3。磁力顯微鏡的結果指出鐵磁性的鐵鉑晶粒分布在非磁性的金基地中，平均分隔距離為0.4微米。從以上的結果可知，良好的晶粒隔絕以及較小的晶粒尺寸可明顯的提昇具有相似序化度的鐵鉑薄膜的磁性質。
Relation:	修平學報 17, 9-14
Appears in Collections:	[Department of Electrical Engineering & Graduate Institute] Journal

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