Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/581
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题名: 連續式真空濺鍍設備自調式齒條傳輸機構設計 SELF-ADJUSTABLE RACK DESIGN FOR TRANSMISSION SYSTEM FOR IN-LINE SPUTTERING MAGNETRON
作者: 許耿禎
贡献者: 修平技術學院
日期: 2005-04-11
上传时间: 2008-11-06T08:22:53Z
摘要: 一種連續式真空濺鍍設備自調式齒條傳動機構裝置，係包括一承載基座、一可伸縮元件(下文以彈簧代表)及一可拆卸齒條等三個元件所組成，首先利用承載基座底部所預留的定位銷及螺絲孔，將本裝置固定及組裝於連續式多腔體濺鍍設備之承載盤底部或側邊數個位置，並依不同腔體空間設計及傳動需求，以平行或交錯方式排列，其中齒條元件將配合腔體內部滾動軸上所組裝齒輪組之齒面，利用兩者齒面之間相互咬合傳動，使承載盤能夠依預設的軌道、方向及速度穩定地確實傳動。利用此新型裝置，當承載盤從上一個腔體傳送至下一個腔體的轉換瞬間，即使瞬間交接齒的齒形相位不同，但透過伸縮元件本身具可自由伸縮的功能，可解決先前所應用連續式齒條傳動機構，在跨腔體轉換瞬間，所發生脫齒、卡齒或跳齒等傳動失效情況，並解決目前利用滾動摩擦傳動，所產生的傳動不確實及磨耗污染等問題，達到具有定位精準、傳動效率高、穩定性高、低污染源及高腔體潔淨度等傳動特性，並具有可快速替換、縮短保養時間等優點，進而降低鍍材生產成本
显示于类别:[電機工程系(含碩士班)] 專利

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