Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/6320

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Title:	氧化鋅摻鋰奈米柱陣列光感測器研究
Authors:	陳彥甫魏仕哲蔡亞斌蕭暐庭
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅摻鋰感測器
Date:	2017-05-31
Issue Date:	2018-06-14T07:57:21Z
Abstract:	本研究為溶膠凝膠法 (Sol-gel method)旋轉塗佈法 (Spin coating technique) 在n-type矽基板上製備氧化鋅(ZnO)的透明導電薄膜晶種層，再以水熱法成長掺鋰氧化鋅(Li-doped ZnO)奈米柱分別以不同的鋰掺雜濃度，研究對氧化鋅奈米柱的結構與光電特性研究分析。製備摻鋰奈米柱，利用X光繞射儀(X-ray diffraction)分析結果為晶格有很好的(002)六角纖鋅礦結構。以掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)觀察結構，奈米柱表面為單晶六角柱，摻雜濃度增加時其晶粒尺寸變小，結果與XRD數據能相互應證。藉由光激發螢光光譜量測 (Photoluminescence)，在紫外光區段顯示可觀察到明顯的繞射峰，而在可見光區會有缺陷造成的微弱放射峰，此缺陷隨摻鋰濃度增加而增加。最後量測摻鋰奈米柱之I-V 特性曲線，並以紫外光線照射觀察光電特性，此特性分析計算出亮/暗電流比，得知摻鋰濃度增加時，奈米柱對紫外光靈敏度漸增。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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