Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/6601
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题名: BiFeO3多鐵薄膜成長在FTO基板上不同溫度變化
作者: 詹翔荏
陳佑誠
林衛群
鄭雨恩
贡献者: 電子工程系
关键词: 溶膠凝膠
薄膜
多鐵電
鐵電
磁性
介電性
漏電流
日期: 2018-06-06
上传时间: 2018-09-28T02:47:25Z
摘要: 本研究以溶膠凝膠法製備BiFeO3多鐵性薄膜，透過旋轉塗佈法將薄膜沉積在FTO基板上，並利用快速熱退火(Rapid Thermal Annealing，RTA)在大氣氛圍下作熱處理。本實驗為純相BFO薄膜沉積在FTO基板上，經不同退火溫度熱處理後的特性比較，探討BiFeO3(BFO)的特性。
本薄膜經不同退火溫度分別為 400℃ 、450℃ 、500℃ 、550℃ 。由實驗結果得知純相BFO薄膜分別沉積在FTO基板上，退火溫度為450 oC時有最佳的晶相，無二次相的產生，並且有最佳的鐵電性。
显示于类别:[電子工程系] 學生專題

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