Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/6607

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Title:	多鐵性BiFeO3薄膜成長於不同基板相關特性之研究
Authors:	鄭冠生林京鴻莊元淞劉博裕
Contributors:	電子工程系
Keywords:	溶膠凝膠薄膜多鐵電鐵電磁性介電性漏電流
Date:	2018-06-22
Issue Date:	2018-09-28T03:11:28Z
Abstract:	本研究以溶膠凝膠法製備BiFeO3 (BFO)多鐵性薄膜，透過旋轉塗佈法將薄膜分別沉積在SiO2/Si基板和Si基板上，並利用RTA快速升溫爐在常壓無通氧下，進行退火處理。本研究將純BFO分別於不同基板上成長並形成BFO/SiO2/Si、BFO/Si之結構。且在相異溫度下進行高溫熱處理比較其特性。並依序個別進行純相BFO在不同基板上成長薄膜之X-ray、SEM。從X-ray量測可證實純相BFO薄膜已成功的製備出來，並獲得BFO/SiO2/Si、BFO /Si最佳退火溫度都是600oC，有二次相的生成，相對BFO/SiO2/Si來說BFO /Si的晶相穩定許多。在鐵電特性方面，可能因SiO2/Si基板為絕緣體，較難量出電性，導致電性實驗須克服，未來可鍍白金(Pt)、ITO、FTO作為下電極增加其導電性，以服電性量測。
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