Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/7607

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Title:	不同溫度燒結對多鐵性Bi1-xNdxFeO3鐵酸鉍薄膜摻雜釹元素之特性研究
Authors:	高健軒謝浩維洪佾劼謝昶泳
Contributors:	電子工程系
Keywords:	溶膠凝膠法 RTA 釹元素 X-ray
Date:	2021-06
Issue Date:	2021-08-30T03:36:55Z
Abstract:	本論文利用溶膠凝膠(Sol-Gel)法在BFO 摻雜Nd3+取代Bi3+ 成長於FTO 玻璃基板上，並利用 RTA 快速升溫爐在常壓無通氧下，進行熱退火處理。並探討 Bi1-xNdxFeO3 結構薄膜的微結構、鐵電性、介電性等特性。鉍元素的在高溫下有易揮發性，希望藉由摻雜釹元素對鉍元素的易揮發特性進行改善，降低二次成相的產生，並且以快速退火之持溫時間降低來減少鉍元素的揮發。在 X-ray 量測當中，並獲得最好成長溫度為 600oC 成功成長出 BFO(018)相，並且無二次成相。在介電量測部分，在 560KHz 得到 500 oC 介電常數 40.37931，550oC 得到 37.15817、600 oC 得到 31.29109，得到 500 oC 擁有較高介電常數。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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