Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/7971

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Title:	PECVD鍍膜機台電漿狀態偵測監控裝置
Authors:	陳宥諭劉韋鋐邱煜璋
Contributors:	電子工程系
Keywords:	鍍膜製程微處理器
Date:	2022-06
Issue Date:	2022-12-05T01:50:13Z
Abstract:	半導體製造中常用到PECVD 鍍膜製程，然而 PECVD 鍍膜製程是否正常，與製程中電漿是否正常產生，並且穩定運作有關。然而一般 PECVD 鍍膜機台並未特別針對電漿狀態進行偵測監控，因此有時會造成鍍膜製程運作時，雷漿並未正常運行，但是因為系統沒有警示，因此鍍膜製程仍舊持續進行，導致產品良率降低，影響生產效率。所以本專題計畫針對 PECVD 鍍膜機台電漿狀態進行偵測監控，我們利用 Arduino 微處理器搭配顏色感測器進行偵測，經由顏色感測器偵測到的顏色，即可判斷電漿狀態是否正常。如果感測器未偵測到正確的顏色，代表電漿狀態異常，系統就會發出警告訊息通知現場人員進行處理。同時也設計一個手機 APP，可以讓使用者進行遠端監控。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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