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題名: FTO導電基板上成長BiFeO3:Al薄膜之研究
作者: 蕭興澤
王舜揚
邱銘芳
貢獻者: 電子工程系
關鍵詞: 溶膠凝膠
薄膜
多鐵電
鐵電
磁性
介電性
漏電流
日期: 2022-06
上傳時間: 2022-12-05T02:06:43Z
摘要: 本論文利用溶膠凝膠(Sol-Gel)法在BFO 摻雜Al在FTO 玻璃基板上，並利用 RTA 快速升溫爐在常壓無通氧及升溫速率50oC/min下，進行熱退火處理溫度450 oC、500 oC、550 oC、600oC，利用XRD、SEM及阻抗分析儀量測BiFe1-xAlxO3 (x=0、0.02、0.04、0.06)薄膜的微結構、鐵電性、介電性等特性。探討不同熱退火處理溫度及不同含量的Al對薄膜的微結構、鐵電性、介電性的影響。
顯示於類別:[電子工程系] 學生專題

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