Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/7974

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Title:	氧化鋅摻鋁薄膜奈米線之製作
Authors:	康育誠;謝景昌;謝秉軒;張凱立
Contributors:	電子工程系
Keywords:	氧化鋅摻鋁薄膜奈米線之製作
Date:	2022-06
Issue Date:	2022-12-05T02:10:43Z
Abstract:	本研究是利用溶膠-凝膠法(Sol-gel)將氧化鋅摻雜鋁元素(Zn1-xAlxO，x=0、0.02、0.04、0.06)晶種層薄膜製作在ITO導電基板上，並使用加熱板(300oC)及快速熱退火熱處理(400 oC、450 oC、500 oC、600oC，4種熱處理溫度)比較分析不同熱處理溫度對氧化鋅晶體結構特性之影響，透過XRD量測分析氧化鋅奈米線摻雜摻雜鋁元素之繞射峰強度與其晶相生長之關係，研究結果得知氧化鋅摻雜鋁元素之繞射峰(002)晶相具有最優良的取向成長，且熱處理溫度600oC的晶體結構會有最佳晶體結構。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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