Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/8114
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题名: 溶膠-凝膠法製作氧化鋅摻雜裡薄膜特性之研究
作者: 阮拓宇
林根德
闕至宸
黃方萍
贡献者: 電子工程系
关键词: 鍍膜
氧化鋅
RTA
日期: 2023-06
上传时间: 2023-07-31T05:56:41Z
摘要: 本研究是利用溶膠-凝膠法(Sol-gel)將氧化鋅摻雜鋰元素(Zn1-xLixO，x=0、0.02、0.04、0.06)晶種層薄膜製作在ITO導電基板上，並使用加熱板(300°C)及快速熱退火熱處理(600°C)比較分析結構特性之影響，使用UV光譜儀量測摻雜在薄膜不同濃度的基板，研究結果得知，在正常情況下，濃度越高穿透率越低，當鋰的濃度過高時反而對於光的穿透率上升，當濃度為2%、4%、6%時，能隙Eg分別為3.056eV、2.920eV、3.067eV。
显示于类别:[電子工程系] 學生專題

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