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題名: An optimal quasi-superlattice design to further improve thermal stability of tantalum nitride diffusion barriers
作者: G. S. Chen;S. C. Huang;S. T. Chen;T. J. Yang;P. Y. Lee;J. H. Jou;T. C. Lin
日期: 2000
上傳時間: 2009-02-03T07:00:32Z
關聯: Applied Physics Letters, 76, pp. 2895?2897. (SCI)
顯示於類別:[電子工程系] 期刊論文

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