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題名: PZT壓電膜製程及結構分析
作者: 戴嘉褘;施易鋒;陳煒仁
貢獻者: 修平技術學院電機工程系
關鍵詞: PZT;溶膠-凝膠法(sol-gel);Spray coating;Spin coating
日期: 2008/12/16
上傳時間: 2009-03-16T06:31:02Z
出版者: 修平技術學院
摘要: 本研究主要使用溶膠-凝膠法(sol-gel)來製作鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜,而其製作過程使用噴霧塗佈(Spray coating)與旋轉塗佈(Spin coating)兩種,之後再進行熱處理、極化、上電極等步驟之後,再將所得之薄膜試片以X-ray繞射分析儀(XRD)方法來進行結構與特性分析。
我們使用的基材有鐵片、鎳片、鋁片及銅片。Spray coating的結果發現,薄膜之中的孔隙較大,所以結構較為鬆散,薄膜厚度較厚。而Spin coating的結果,薄膜之中的孔隙較小,所以結構較為緊密,薄膜厚度較薄。
經由XRD量測發現,在結晶結構方面,在Al為下電極時結晶方向以PZT(110)為最強,所以往最密堆疊方向PZT(110)開始堆疊。而在Ni方面亦與Al相同,在PZT(110)有出現較強的峰值, 所以也有明顯的PZT(110)結晶相。
顯示於類別:[電機工程系(含碩士班)] 學生專題

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