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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/1534
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| 題名: | PZT壓電膜製程及結構分析 |
| 作者: | 戴嘉褘;施易鋒;陳煒仁 |
| 貢獻者: | 修平技術學院電機工程系 |
| 關鍵詞: | PZT;溶膠-凝膠法(sol-gel);Spray coating;Spin coating |
| 日期: | 2008/12/16
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| 上傳時間: | 2009-03-16T06:31:02Z
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| 出版者: | 修平技術學院 |
| 摘要: | 本研究主要使用溶膠-凝膠法(sol-gel)來製作鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜，而其製作過程使用噴霧塗佈(Spray coating)與旋轉塗佈(Spin coating)兩種，之後再進行熱處理、極化、上電極等步驟之後，再將所得之薄膜試片以X-ray繞射分析儀(XRD)方法來進行結構與特性分析。
我們使用的基材有鐵片、鎳片、鋁片及銅片。Spray coating的結果發現，薄膜之中的孔隙較大，所以結構較為鬆散，薄膜厚度較厚。而Spin coating的結果，薄膜之中的孔隙較小，所以結構較為緊密，薄膜厚度較薄。
經由XRD量測發現，在結晶結構方面，在Al為下電極時結晶方向以PZT（110）為最強，所以往最密堆疊方向PZT（110）開始堆疊。而在Ni方面亦與Al相同，在PZT（110）有出現較強的峰值， 所以也有明顯的PZT（110）結晶相。 |
| 顯示於類別: | [電機工程系(含碩士班)] 學生專題
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