Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/2370
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题名: 以低溫水熱電化學法製備鈦酸鍶之研究
作者: 李士暐
李建鋒
黃證文
揭由志
贡献者: 化學工程系
关键词: 鈦酸鍶
氮化鈦
低溫水熱－電化學
日期: 2010-12-15
上传时间: 2011-08-25T01:15:23Z
摘要: 本研究主要採用鍍氮化鈦膜矽晶片(TiN/Si)來當基材，利用低溫水熱法-電化學法作用之方式來成長鈦酸鍶膜，反應溶液為0.5 M醋酸鍶(Sr(CH3COO)2)及2 M氫氧化鈉(NaOH)之溶液，探討在控制溶液溫度、電壓及反應時間之條件對鈦酸鍶(SrTiO3)膜成長之影響。
研究是以施加外電壓之低溫水熱-電化學法方式，將TiN/Si 基材置於0.5M Sr(CH3COO)2及2 M NaOH 之電解液中，以80˚C與90˚C之溫度以及定電壓1.5V、2V反應10分鐘與30分鐘。反應過程中以電腦即時監控及記錄電壓及電流的變化。以及觀察反應前後試片外觀之比較，接著以X光繞射儀(XRD)進行結晶相之分析鑑定，並以場發射電子顯微鏡(FE-SEM)觀察反應前後試片表面及橫截面之微結構。結果顯示TiN/Si 在80C以定電壓1.5 V反應30分鐘跟2V反應10分鐘即有明顯鈦酸鍶膜生成。在80C以定電壓2 V反應30分鐘可將TiN/Si 基材完全反應成SrTiO3膜，所得膜厚達1.8 m。
显示于类别:[能源與材料科技系] 學生專題

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