English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文筆數/總筆數 : 4343/7642
造訪人次 : 3664153      線上人數 : 145
RC Version 3.2 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
搜尋範圍 進階搜尋

請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/351

題名: 以溶膠-凝膠法成長鉭酸鋰薄膜之晶體結構及電特性之研究
作者: 高銘政
貢獻者: 修平技術學院電子工程系
關鍵詞: 鉭酸鋰
溶膠凝膠法
薄膜
介電常數
焦電係數
日期: 2008-03
上傳時間: 2008-08-26T03:13:49Z
摘要: 本研究以diol-based 溶劑為基礎的溶膠-凝膠法成功地成長鉭酸鋰(LiTaO3)薄膜於Pt(111)/SiO2/Si(100) 基板上,藉由顯微結構分析、介電及焦電特性量測,探討鉭酸鋰薄膜之特性,研究發現薄膜在700 oC溫度以上之燒結後呈現多方向性成長的多晶相(polycrystalline)。電性量測方面,在量測溫度610 oC以下相對介電常數(εr )會隨溫度增加而上升,而在610 oC以上則是呈現下降的趨勢,顯示在610 oC時薄膜會發生相轉換,其介電損失(tanδ),在溫度範圍30-770 oC時的值都低於0.006,且在溫度62℃時會有最大焦電係數(γ) 4.0×10-8 C/cm2‧K發生。結果顯示,本研究所製作之鉭酸鋰薄膜非常適合紅外線感測器之應用。
關聯: 修平學報 16, 55-62
顯示於類別:[電子工程系] 期刊論文

文件中的檔案:

檔案 大小格式瀏覽次數
16-04 以溶膠-凝膠法成長鉭酸鋰薄膜之晶體結構及電特性之研究.pdf3766KbAdobe PDF2209檢視/開啟

在HUSTIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

 


DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - 回饋