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題名: | 銅鋁氧塊材製作 |
作者: | 王俊文;呂宗憲;蕭佳峻;黃書強 |
貢獻者: | 電子工程 |
關鍵詞: | 銅鋁氧 粉末冶金 |
日期: | 2012-12
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上傳時間: | 2014-07-15T03:29:06Z
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摘要: | 銅鋁氧具有許多優秀之特性,如良好的導電性、導熱性與抗電弧沖蝕等特性,故其應用的領域廣泛,一般的靶材基本上都是用熔煉的方式製作,不過這種製作方法容易發生缺陷,如成分比例出錯、結構不均勻和孔洞的分佈不均勻。
由於銅鋁氧P型靶材其電阻率高於 N 型靶材 3 至 4 倍,使得無法製作良好的 PN 接面。所以我們採用另外的一種做法,就是粉末冶金(Powder metallurgy )真空燒結(Vacuum Sintering)。
由這實驗研究哪種做法的成功良率較高。研究主要嘗試利用粉末冶金方法來製作銅鋁氧 P型靶材,並探討熱均壓參數的改變對靶材之緻密度與微觀組織的影響,進而找到最適合之製程參數來製備高緻密度之銅鋁氧 P型靶材 |
顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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