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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/6320
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題名: | 氧化鋅摻鋰奈米柱陣列光感測器研究 |
作者: | 陳彥甫 魏仕哲 蔡亞斌 蕭暐庭 |
貢獻者: | 電子工程系 |
關鍵詞: | 氧化鋅 摻鋰 感測器 |
日期: | 2017-05-31
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上傳時間: | 2018-06-14T07:57:21Z
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摘要: | 本研究為溶膠凝膠法 (Sol-gel method)旋轉塗佈法 (Spin coating technique) 在n-type矽基板上製備氧化鋅(ZnO)的透明導電薄膜晶種層,再以水熱法成長掺鋰氧化鋅(Li-doped ZnO)奈米柱分別以不同的鋰掺雜濃度,研究對氧化鋅奈米柱的結構與光電特性研究分析。
製備摻鋰奈米柱,利用X光繞射儀(X-ray diffraction)分析結果為晶格有很好的(002)六角纖鋅礦結構。以掃描式電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)觀察結構,奈米柱表面為單晶六角柱,摻雜濃度增加時其晶粒尺寸變小,結果與XRD數據能相互應證。藉由光激發螢光光譜量測 (Photoluminescence),在紫外光區段顯示可觀察到明顯的繞射峰,而在可見光區會有缺陷造成的微弱放射峰,此缺陷隨摻鋰濃度增加而增加。最後量測摻鋰奈米柱之I-V 特性曲線,並以紫外光線照射觀察光電特性,此特性分析計算出亮/暗電流比,得知摻鋰濃度增加時,奈米柱對紫外光靈敏度漸增。 |
顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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