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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/6607
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| 題名: | 多鐵性BiFeO3薄膜成長於不同基板相關特性之研究 |
| 作者: | 鄭冠生
林京鴻
莊元淞
劉博裕 |
| 貢獻者: | 電子工程系 |
| 關鍵詞: | 溶膠凝膠
薄膜
多鐵電
鐵電
磁性
介電性
漏電流 |
| 日期: | 2018-06-22
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| 上傳時間: | 2018-09-28T03:11:28Z
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| 摘要: | 本研究以溶膠凝膠法製備BiFeO3 (BFO)多鐵性薄膜，透過旋轉塗佈法將薄膜分別沉積在SiO2/Si基板和Si基板上，並利用RTA快速升溫爐在常壓無通氧下，進行退火處理。本研究將純BFO分別於不同基板上成長並形成BFO/SiO2/Si、BFO/Si之結構。且在相異溫度下進行高溫熱處理比較其特性。並依序個別進行純相BFO在不同基板上成長薄膜之X-ray、SEM。
從X-ray量測可證實純相BFO薄膜已成功的製備出來，並獲得BFO/SiO2/Si、BFO /Si最佳退火溫度都是600oC，有二次相的生成，相對BFO/SiO2/Si來說BFO /Si的晶相穩定許多。在鐵電特性方面，可能因SiO2/Si基板為絕緣體，較難量出電性，導致電性實驗須克服，未來可鍍白金(Pt)、ITO、FTO作為下電極增加其導電性，以服電性量測。 |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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