Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/7612
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题名: 氧化鋅摻鋁薄膜特性之研究
作者: 簡賜賓
李宜峰
李泓頡
王永昶
贡献者: 電子工程系
关键词: 溶膠-凝膠法
氧化鋅
薄膜
導電
日期: 2021-06
上传时间: 2021-08-30T03:53:42Z
摘要: 本研究是利用溶膠-凝膠法(Sol-gel)將氧化鋅摻雜鋁元素(Zn1-xAlxO)薄膜(簡稱AZO薄膜)製作在透明玻璃ITO基板上，鋁的摻雜量x為0、2%、4%、6%等，並使用快速熱退火熱處理溫度為600oC，透過XRD及SEM量測分析AZO薄膜之繞射峰強度與其晶相生長之關係，並使用UV光譜儀量測AZO薄膜之穿透率，使用四點探針法量測AZO之電阻率，研究結果得知AZO薄膜具備高穿透率95%及當x=4%時具有最好之(002)晶相成長及較低之電阻率為400 Ω/sq，顯示本專題使用溶膠-凝膠法及快速熱退火熱處理AZO薄膜具備透明導電膜之應用。
显示于类别:[電子工程系] 學生專題

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