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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/7971
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| 題名: | PECVD鍍膜機台電漿狀態偵測監控裝置 |
| 作者: | 陳宥諭
劉韋鋐
邱煜璋 |
| 貢獻者: | 電子工程系 |
| 關鍵詞: | 鍍膜製程
微處理器 |
| 日期: | 2022-06
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| 上傳時間: | 2022-12-05T01:50:13Z
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| 摘要: | 半導體製造中常用到PECVD 鍍膜製程，然而 PECVD 鍍膜製程是否正常， 與製程中電漿是否正常產生，並且穩定運作有關。然而一般 PECVD 鍍膜機 台並未特別針對電漿狀態進行偵測監控，因此有時會造成鍍膜製程運作時，雷漿並未正常運行，但是因為系統沒有警示，因此鍍膜製程仍舊持續進行，導致產品良率降低，影響生產效率。所以本專題計畫針對 PECVD 鍍膜機台電漿狀態進行偵測監控，我們利用 Arduino 微處理器搭配顏色感測器進行偵測，經由顏色感測器偵測到的顏色，即可判斷電漿狀態是否正常。如果感測器未偵測到正確的顏色，代表電漿狀態異常，系統就會發出警告訊息通知現場人員進行處理。同時也設計一個手機 APP，可以讓使用者進行遠端監控。 |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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