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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/8114
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| 題名: | 溶膠-凝膠法製作氧化鋅摻雜裡薄膜特性之研究 |
| 作者: | 阮拓宇
林根德
闕至宸
黃方萍 |
| 貢獻者: | 電子工程系 |
| 關鍵詞: | 鍍膜
氧化鋅
RTA |
| 日期: | 2023-06
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| 上傳時間: | 2023-07-31T05:56:41Z
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| 摘要: | 本研究是利用溶膠-凝膠法(Sol-gel)將氧化鋅摻雜鋰元素(Zn1-xLixO，x=0、0.02、0.04、0.06)晶種層薄膜製作在ITO導電基板上，並使用加熱板(300°C)及快速熱退火熱處理(600°C)比較分析結構特性之影響，使用UV光譜儀量測摻雜在薄膜不同濃度的基板，研究結果得知，在正常情況下，濃度越高穿透率越低，當鋰的濃度過高時反而對於光的穿透率上升，當濃度為2%、4%、6%時，能隙Eg分別為3.056eV、2.920eV、3.067eV。 |
| 顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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