Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/8116

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Title:	鐵酸鉍薄膜於不同厚度及退火溫度下之特性分析
Authors:	胡順傑林宗佑丁景鴻
Contributors:	電子工程系
Keywords:	BiFeO3 XRD PT 多鐵性材料
Date:	2023-06
Issue Date:	2023-07-31T06:01:58Z
Abstract:	我們的研究是以旋轉塗佈法來將BiFeO3沉積在白金基板上，並使用快速升溫爐(RTA)進行熱退火處理，最後經過X 光繞射儀(XRD)數據分析，我們會先以同樣BiFeO3 薄膜層數不同溫度來做初步觀察，BiFeO3 薄膜在經過X光繞射儀得出的數據來探討薄膜結晶狀態以找出BiFeO3 薄膜最佳結晶溫度，先以薄膜層數為10層而退火溫度則分別為500、550、600、650度，在觀察後得知在退火溫度550度以及600度時BiFeO3薄膜擁有相對較強晶相，因此選用550、600度去做不同的薄膜層數來做進一步分析與探討，之後以薄膜層數分別為4、6、14層，在此次數據中我們觀察到當BiFeO3 薄膜厚度越高晶面強度也隨之提高。
Appears in Collections:	[Department of Electronic Engineering] Monograph

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