Hsiuping University of Science and Technology Institutional Repository : Item 310993100/8116
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题名: 鐵酸鉍薄膜於不同厚度及退火溫度下之特性分析
作者: 胡順傑
林宗佑
丁景鴻
贡献者: 電子工程系
关键词: BiFeO3
XRD
PT
多鐵性材料
日期: 2023-06
上传时间: 2023-07-31T06:01:58Z
摘要: 我們的研究是以旋轉塗佈法來將BiFeO3沉積在白金基板上，並使用快速升溫爐(RTA)進行熱退火處理，最後經過X 光繞射儀(XRD)數據分析，我們會先以同樣BiFeO3 薄膜層數不同溫度來做初步觀察，BiFeO3 薄膜在經過X光繞射儀得出的數據來探討薄膜結晶狀態以找出BiFeO3 薄膜最佳結晶溫度，先以薄膜層數為10層而退火溫度則分別為500、550、600、650度，在觀察後得知在退火溫度550度以及600度時BiFeO3薄膜擁有相對較強晶相，因此選用550、600度去做不同的薄膜層數來做進一步分析與探討，之後以薄膜層數分別為4、6、14層，在此次數據中我們觀察到當BiFeO3 薄膜厚度越高晶面強度也隨之提高。
显示于类别:[電子工程系] 學生專題

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