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題名: 溶膠-凝膠法製作氧化鋅摻雜釹薄膜之特性研究
作者: 林沛璿
黃建勛
貢獻者: 電子工程系
關鍵詞: 溶膠-凝膠法
氧化鋅
溶液
藥品
日期: 2023-06
上傳時間: 2023-07-31T06:04:00Z
摘要: 本研究是利用溶膠-凝膠法(Sol-gel)將氧化鋅摻雜釹(Zn1-xNdxO)元素薄膜(簡稱NZO薄膜)製作在透明玻璃ITO基板上,釹的摻雜量x為2%、4%、6%等,並使用快速熱退火處理溫度為600度,使用UV光譜儀量測NZO薄膜之穿透率即能隙,研究結果得知,顯示本隨著釹元素摻雜量增加(2%~6%),NZO薄膜之穿透率下降(85%~80%),能隙也降低,x為2%、4%、6% 時,能隙Eg分別為3.03ev、2.98ev、2.84ev。
顯示於類別:[電子工程系] 學生專題

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