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[電子工程系] 期刊論文 2001 Growth mechanism of sputter deposited Ta and Ta-N thin films induced by an underlying titanium layer and varying nitrogen flow rates G. S. Chen; S. T. Chen; S. C. Huang; H. Y. Lee
[電子工程系] 期刊論文 2000 An optimal quasi-superlattice design to further improve thermal stability of tantalum nitride diffusion barriers G. S. Chen; S. C. Huang; S. T. Chen; T. J. Yang; P. Y. Lee; J. H. Jou; T. C. Lin

 

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