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http://ir.hust.edu.tw/dspace/handle/310993100/8116
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題名: | 鐵酸鉍薄膜於不同厚度及退火溫度下之特性分析 |
作者: | 胡順傑 林宗佑 丁景鴻 |
貢獻者: | 電子工程系 |
關鍵詞: | BiFeO3 XRD PT 多鐵性材料 |
日期: | 2023-06
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上傳時間: | 2023-07-31T06:01:58Z
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摘要: | 我們的研究是以旋轉塗佈法來將BiFeO3沉積在白金基板上,並使用快速升溫爐(RTA)進行熱退火處理,最後經過X 光繞射儀(XRD)數據分析,我們會先以同樣BiFeO3 薄膜層數不同溫度來做初步觀察,BiFeO3 薄膜在經過X光繞射儀得出的數據來探討薄膜結晶狀態以找出BiFeO3 薄膜最佳結晶溫度,先以薄膜層數為10層而退火溫度則分別為500、550、600、650度,在觀察後得知在退火溫度550度以及600度時BiFeO3薄膜擁有相對較強晶相,因此選用550、600度去做不同的薄膜層數來做進一步分析與探討,之後以薄膜層數分別為4、6、14層,在此次數據中我們觀察到當BiFeO3 薄膜厚度越高晶面強度也隨之提高。 |
顯示於類別: | [電子工程系] 學生專題
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